纯蒸汽通常是以纯化水为原料水， 通过纯蒸汽发生器产生的蒸汽，纯蒸汽冷凝时要满足注射用水的要求。软化水、去离子水和纯化水都可以作为纯蒸汽发生器的原料水，经蒸发，分离（去除微粒及细菌内毒素等污染物）后，在一定压力下输送到使用点。
纯蒸汽发生器通常是由一个蒸发器、分离装置、预热器、取样冷凝器、阀门、仪表和控制部分等组成。纯蒸汽发生器设备取样器，用于在线检测纯蒸汽的质量，其检验标准是纯蒸汽冷凝水是是否符合注射用水的标准，在经检测的项目主要是温度和电导率。
纯蒸汽用途
纯蒸汽冷凝水应符合《中华人民共和国药典2015》注射用水标准
1) 肠道和非肠道制剂应用，蒸汽直接接触产品
2) API产品生产过程的关键工艺过程，蒸汽直接接触API
3) API产品生产工程中的非关键性工艺，所添加的杂物会在后续工艺中去除
4) 制药用水系统中的消毒和灭菌
5) 制剂生产关键性HVAC系统加湿用且蒸汽与药品直接接触，化学添加物可能会对药品产水不理影响
6) 关键工艺的洁净室加湿
