工件内部缺陷及结构的检测是工业CT的优势，通过工业CT我们可以在无损坏工件的情况下，很清楚的观察工件内部缺陷及结构。工业CT通过VG软件，实现工件内部缺陷及结构的尺寸测量可视化。
工业CT不仅可以测工件内部还可以测工件表面的结构尺寸，工业CT测量主要包括缺陷尺寸测量，结构尺寸、直径、角度、公差测量等等。
在工件设计研发阶段，通过工业CT来检测工件内部缺陷，以及测量结构的尺寸与设计值对比，找到偏差位置及大小，辅助制造工艺的改进。工件制造出来后需要对其缺陷或尺寸的测量，检测是否符合标准。在总成部件上工业CT测量也发挥着重要的作用，零件组装后，内部结构是看不到的，对装配结构有严格要求的部件通过工业CT测量装配结构尺寸，是否堵塞通道，是否通道过于狭窄，对接是否吻合等等。
距离量具和卡尺量具
距离量具用来测量两点间的距离。卡尺量具是距离量具的加强版。
圆孔直径
通过圆孔表面拟合得出圆孔直径。
结构角度
某一切面上的结构角度
通过拟合两个平面，测得两个表面的角度
公差
倾斜度
如下图，平面5（当前面）相对于基准面yz倾斜度为0.196mm。
同轴度
下图圆柱2相对于圆柱1的同轴度为0.047mm。
平行度
两个平行的平面（平面3、平面5）的平行度为0.172mm。
除了以上三个公差值测量（倾斜度、同轴度、平行度）以外，工业CT公差值测量还包括圆柱度、平面度、垂直度、位置度、圆度、直线度、对称度、圆锥度、轮廓度、球度等等。
在工业CT计量研究方面，德国、美国、意大利、比利时、日本等发达国家的相关大型工业CT公司已经开始研究并取得了部分研究成果。他们借鉴传统CMM标准器开发出一批工业CT标准器。近些年Yxlon在测量方面与众多厂商的合作，取得了丰富的研究成果，已经推出计量型CT方案和设备。