BROOKS质量流量控制器

BROOKS质量流量控制器。布鲁克斯质量流量设备在全球得到广泛应用的关键原因：创新型MultiFlo技术可使一台设备完成气体类型和量程的切换工作并且无需从系统中拆除设备，还能够tisheng过程气体的测量准确性；拥有业内种类*齐全的产品系列可满足各种应用需求。关键应用：用于生物制药的生物反应器，石化和化工气体和液体试验工厂，薄膜淀积系统。金属密封热式质量流量控制器，Z高纯度气路。适用于对湿度或氧气敏感的过程，高纯度流路可*大限度降低过程污染，tigao产率。5850EM系列，经验证长期稳定，超纯洁净体系，适用于高压应用。流量范围宽 - 3 sccm 至高达 30,000slpm，可选增强型内部后处理工艺 - 5µ 英寸 Ra（平均值），不受安装角度影响。

5964, 5850EM 系列，用于要求非常低泄漏和高性能的气流处理系统。5964 和5850EM系列采用金属密封或焊接接头，确保高纯度和高真空的泄漏完整性应用。减少内螺纹的数量使设计不易受到系统污染。快速响应控制允许快速的气体沉降时间，Z大限度地减少过冲/下冲。100级洁净室组装和校准（可选 5850EM）。增强工艺（7 Ra）内表面光洁度（可选 5850EM）。对于带常闭阀的 0-****指令步骤，小于 3 秒至*终值满量程的 2%。

BROOKS流量计1350EEB4AEW1A 200 Psi 0-6

BROOKS质量流量计SLAMF51SJ1AB1G2A1P3F1AA

布鲁克斯流量控制器SLA5850P1AAB1A2A1

布鲁克斯流量计SLA5863S2GAAOC2A1A5D1AA

布鲁克斯质量流量控制器1024NJ1N2AA2F9J00001

布鲁克斯质量流量计1350/D2D3A1B5B00

BROOKS流量控制器3750CA2A11ADKAFAA0 1500Psi

布鲁克斯流量控制器1355EH2JCXG1A，0-30 SLPM

布鲁克斯质量流量计M31272-004 SLA5850SJ1AB1C2A1

布鲁克斯质量流量控制器SLA5851S1AAB1C2A1T3FAAA

BROOKS质量流量计SLA5853S20AB2C2A1

BROOKS流量计3809E11CADAA1A1

BROOKS流量控制器MT3809EB1A1KQFBR1

布鲁克斯流量控制器5851S/BD1DA11D0AA1

布鲁克斯流量计SLAMF53S2HAB3G2A1

BROOKS质量流量控制器SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1

布鲁克斯质量流量计MF64S/AS4DA0BA0JA1B1

BROOKS质量流量计MR3A15SVVT

BROOKS流量计GF040CXXC-0008200C-T1AVP4-AX-70F

BROOKS流量控制器2001E7CG4BB1BB/209-166

布鲁克斯流量计SLAMF63S/AL1YA0BC1KA1B1

本公司是国内的进口工业控制、温度计、流量计、液位计、变送器、传感器、PLC、泵阀、仪器仪表提供商。我们为我国的冶金、电力、石油化工、电子、半导体、工业机械、机床、汽车等生产企业和科研院所提供世界zhiming的工业机电设备仪器仪表，以优惠的价格和完善的售后技术服务在国内公司树立了良好的形象。我们的优势供应产品：罗斯蒙特ROSEMOUNT流量计、西克SICK传感器、AB模块、MTS位移传感器、VEGA液位计、KRACHT齿轮泵、艾默生EMERSON流量计、图尔克TURCK传感器、E+H流量计、倍加福P+F传感器、REXROTH力士乐、HEIDENHAIN海德汉、BECKHOFF倍福、皮尔磁PILZ安全继电器、易福门IFM传感器。

美国BROOKS真空计，布鲁克斯真空计

美国BROOKS变面积流量计，布鲁克斯变面积流量计

美国BROOKS压力传感器，布鲁克斯压力传感器

美国BROOKS压力计，布鲁克斯压力计

美国BROOKS热式质量流量计，布鲁克斯热式质量流量计

美国BROOKS转子流量计，布鲁克斯转子流量计

美国BROOKS压力控制器，布鲁克斯压力控制器

布鲁克斯质量流量控制器（Mass FlowController）主要对气体的流量进行准确测量、并对设定流量进行精准控制。主要功能部件有质量流量检测部分、分流器通道、流量控制调节阀、信号处理电路和管道壳体等组成。质量流量检测部分采用毛细管传热温差量热法原理，对测量气体的质量流量进行检测。这种检测方式的传感器受温度压力的影响甚微，无需格外的温度和压力补偿。质量流量检测部件通过传感器加热电桥测得的流量信号，通过专用的放大器转换处理后与设定流量对应的设定电压进行比较。比较所得的差值信号放大后去对调节阀进行控制，使检测到的信号与设定的信号一致。分流器的作用就是扩大通过流量控制器的流量，从气体流向来看就是在主通道和毛细管间产生层流。

BROOKS质量流量控制器，包括进气管路、出气管路和控制组件，进气管路和/或出气管路为多条，进气管路一端为进气口，另一端与各出气管路连通，各进气管路上均设有电位监测元件，控制组件与电位监测元件连接，且控制组件控制进气管路与出气管路的气体流量。为实现多种气体先均匀混气后均匀供气的目的，可采用本实用设置多条进气管路和多条出气管路，控制组件控制每条进气管路及出气管路的气体流量，从而达到混气均匀和供气均匀的要求。质量流量控制器，其特征在于：所述控制组件包括计算控制单元和数据交换模块，所述控制组件包括计算控制单元和数据交换模块，所述计算控制单元与所述数据交换模块连接，所述电位监测元件、所述第一控制阀和所述第二控制阀均与所述计算控制单元连接。